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Al2O3在高温、低真空条件下挥发，形成蒸汽，由于锅盖处的温度较低，Al2O3蒸汽发生凝结，形成Al2O3晶体。锅盖处的挥发物的主要成分是Al2O3，由于导热系数较低，直接导致锅盖处的导热能力降低，使得坩埚内的温场控制困难。挥发物在加热棒上部(低温区)沉积，主要成分为MoO3及WO3的混合物。由于挥发物沉积的主要成分为钨钼，与加热器的组分一致，均为金属良导体。加热棒变粗后，导致加热棒的电阻减少，发热量降低。在同样的生长条件下，需要更大的加热功率，造成能源损耗。

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